1.原子力显微镜能够实现高真空的测试环境，大限度减小样品表面吸附水对测试的影响，实现的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。
2.设备通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更换环节。
3.仪器采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。 漂移量：0.015nm/sec以下。
4.真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。
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